凈化車間的溫濕度主要是依據(jù)生產(chǎn)加工技術(shù)性工藝技術(shù)規(guī)定來明確，在達(dá)到公司生產(chǎn)加工生產(chǎn)制造加工工藝的標(biāo)準(zhǔn)下，優(yōu)選大家應(yīng)當(dāng)考慮到人的舒適度。

　　伴隨著在我國空氣潔凈度等級(jí)規(guī)定的提升，加工工藝對(duì)溫濕度的規(guī)定也愈來愈多越高，務(wù)必可以做到自身一定的溫濕度開展級(jí)別。比如在我國規(guī)模性數(shù)據(jù)集成系統(tǒng)軟件電源電路及其生產(chǎn)制造的光刻技術(shù)曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定學(xué)員愈來愈小。直徑100 um的單晶硅片，溫度持續(xù)升高1度，就造成了0.24um線形澎漲，因此老師務(wù)必有0.1度的控溫，另外發(fā)展趨勢規(guī)定工作中濕度值一般水準(zhǔn)較低，由于汗之后，對(duì)商品銷售市場將有環(huán)境污染，尤其是怕鈉的半導(dǎo)體材料車間，這類根據(jù)車間不適合應(yīng)用超出25度。濕度過高非常容易造成的難題給予大量。相對(duì)性濕度超出55%時(shí)，冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水，假如產(chǎn)生在一個(gè)高精密操縱設(shè)備或電源電路中，便會(huì)造成造成社會(huì)發(fā)展各種各樣安全生產(chǎn)事故。相對(duì)性濕度在的時(shí)候容易銹蝕。殊不知，針對(duì)大部分清理室內(nèi)空間而言，為了更好地避免外界環(huán)境污染的侵入，必須維持內(nèi)部工作壓力(負(fù)壓)高過外界工作壓力(負(fù)壓)。清理室內(nèi)空間的工作壓力高過非清理室內(nèi)空間的工作壓力。壓差由新鮮空氣量維持，這填補(bǔ)了在這類壓差下空氣根據(jù)空隙的泄露。因此壓力差的物理意義便是空氣漏水(或滲入)時(shí)根據(jù)潔凈室的每個(gè)空隙時(shí)的摩擦阻力。

　　針對(duì)流場潔凈室，因?yàn)榭諝庀♂屢宏P(guān)鍵用以降低室內(nèi)空氣污染，因此關(guān)鍵選用換風(fēng)的定義，但速度的定義并不立即應(yīng)用，但對(duì)流傳熱速度也是有下列規(guī)定；1.正壓送風(fēng)口出入口的氣旋速度不適合過大。與獨(dú)立的中央空調(diào)屋子對(duì)比，規(guī)定速度衰減系數(shù)更快，蔓延角更高。2.空氣穿過平面的速度(如側(cè)送時(shí)的流回速度)不適合過高，以防將表層顆粒物吹返回空氣流中，導(dǎo)致二次污染。該速度一般不應(yīng)是0.兩米/s。在我國《空氣潔凈度等級(jí)技術(shù)措施》和《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》均要求豎直平行面流(層.流)潔凈室為0.25米/秒，水準(zhǔn)平行面流(層.流)潔凈室為0.35米/秒。